پمپ توربو مولکولار

مکانیسم عمل پمپ توربو مولکولار در سال ۱۹۱۳ کشف شد ولی بدلیل عوم توانایی در ساخت تا سالهای زیادی ساخت و توسعه پمپ توربو مولکولار به تعویق افتاد. این کشف بیان می کرد که با حرکت سریع پره های روتور مرکزی نسبت به پره های ثابت می توان مکش بسیاری ایجاد نمود. فاصله بین پره های پمپ های کنونی در حدود میلیمتر است پمپ توربو مولکولار نیز مانند پمپ دیفیوژن نیاز به پمپ پشتیبان دارد که معمولا از پمپ روتاری یا ترکیب روتاری روتس استفاده می شود. سرعت چرخش روتور پمپ توربو مولکولار در حدود جند ده هزار دور در دقیقه است که همین سرعت بالا محدودیت های بسیار ی چه از لحاظ ساخت و چه در مورد تعمیر ایجاد کرده است .

Busch         Leybold             Becker