پمپ وکیوم خشک (Dry Rotary Vane)
پمپ های وکیوم خشک از نظر میزان خلاء به سه دسته تقسیم می شوند:
۱) پمپ وکیوم خشک ونتوری ساید چنل (Ventory side channel)
پروانه پمپ وکیوم خشک ونتوری ساید چنل به گونه ای طراحی شده است که با سرعت ۳۰۰۰ rpm توربولانت(گردابه هوایی) ایجاد نموده،از یک طرف دهش و از طرف دیگر مکش انجام می دهند. تک پروانه (یک طبقه) تا ۳۰۰mbar، دو پروانه(دو طبقه) ۴۰۰mbar سه پروانه (سه طبقه)۴۵۰mbar خلاء می کند.
۲) پمپ وکیوم خشک تیغه گرافیتی (کربنی)
پمپ های وکیوم خشک تیغه گرافیتی به dry rotary vane معروف بوده ، طراحی آن مثل روتاری روغنی است ولی تیغه های آن از جنس کربن (گرافیت) بوده ، در سایز خیلی کوچک و حداکثر تا ۵۰۰ متر مکعب ساخته می شود حداکثر خلاء این پمپ ۸۰mbar می باشد و به oil less معروف اند بر اثر کار مداوم و حرارت ، تیغه ها دارای عمری نزدیک به یکسال دارند و بعد از آن باید تعویض گردند.
۳) پمپ وکیوم خشک دو محوره (Booster Vacuum)
پمپ های وکیوم خشک دو محوره همان Roots Blower هستند با تغییراتی در Seal Ring قادر به ایجاد خلاء تا ۰٫۰۰۱ میلی بار هستند. روتس بلوئرها در حالت عادی در ورودی دارای خلاء ۵۰۰mbar می باشد. با تغییر آب بندی آن می تواند به خلاء ۰٫۰۱ رسید پمپ وکیوم خشک دو محوره همان اسکرو پمپ ها هستند، عملکرد پمپ های وکیوم خشک مثل اسکرو ، کمپرسورها بوده ، در دهانه ورودی میتواند خلاءای تا ۰٫۰۰۱ میلی بار داشته باشد. بوستر وکیوم ها هیچکدام به تنهایی قادر به ایجاد خلاء نیستند، حتما باید یک پمپ پشتیبان به خروجی آنها لینک شود (Backiny Pump) اول پمپ پشتیبان داخل بوستر را وکیوم کرده تا اختلاف فشار به ΔP=50 میلی بار برسد. سپس بوستر پمپ شروع به کار میکند. پمپ های وکیوم خشک بصورت پکیچ پمپ های روغنی ، رینگ آبی و اجکتور تا چندین stage سری شده تا به ظرفیت وخلاء برسیم.
پمپ وکیوم روتاری
پمپ وکیوم دیافراگمی
پمپ وکیوم پیستونی
پمپ وکیوم بوستر
پمپ وکیوم کلاو
پمپ وکیوم سایدچنل
پمپ وکیوم اسکرو
پمپ وکیوم اسکرول